氦质谱检漏仪

产品分类

A500干泵氦质谱检漏仪

A500干泵氦质谱检漏仪

详细介绍

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安徽歌博科技A500型干泵氦质谱检漏仪,灵敏度高、操作便捷、低维护,使您放心得到准确可靠的测试结果。

产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜,光伏等行业。


功能描述

支持正压检漏,负压检漏

自动跟踪本底,提供快速可靠的测量结果

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底

机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试

机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试

配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤

双铱丝离子源,有效的系统设计,防大气冲击

支持定制检漏工作台,更加便捷使用


技术参数

最小可检漏率(负压模式)            5×10-13Pa•m3/s 

最小可检漏率(正压模式)            5×10-9Pa•m3/s

检漏口压强           粗检        1500Pa

                  中检        200Pa

                  精检        40Pa

响应时间                       <0.5s

启动时间                       ≤2min

前级油泵抽速                     14.5m3/h(4L/s)  

外形尺寸(W×D×H)                845×465×988

重量                          75Kg



尺寸图

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常见泄漏率

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检漏方法示意图

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