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真空系统设计中,法兰连接的选择至关重要,直接影响密封性、操作便利性和成本。CF、KF 和 ISO 法兰是最常用的三种类型,这三种类型结构特征各不相同,对应不同的使用环境。
CF(ConFlat)真空法兰
CF(ConFlat)真空法兰的工作原理基于金属密封原理。其采用金属 - 金属密封结构,两法兰间设金属密封环(标准为无氧铜 OFC,特殊工况可选铝、不锈钢、金等材质),通过圆周均匀分布的螺栓紧固,需采用对角分步拧紧法,确保密封环受力均匀,避免变形泄漏。CF 真空法兰的密封性能优异,可达 10⁻¹³ mbar 以下的超高真空级别,金属 - 金属接触能确保高真空环境密封,且可烘烤至 450℃(无氧铜密封环),耐辐射、耐化学腐蚀,是超高真空(UHV)系统的标准配置。
KF(Klein Flange)真空法兰
KF(Klein Flange)真空法兰的工作原理基于弹性密封结构,主要通过 O 形密封圈实现对真空系统的有效密封。密封圈通常由丁腈橡胶(NBR)或氟橡胶(Viton)等弹性材料制成,具有良好的密封性能和弹性。KF 法兰采用单卡箍快速连接方式,无需螺栓,拆装仅需数秒。连接时,将密封圈安装在一个法兰的凹槽内,然后将另一个法兰对准,用卡箍将两个法兰夹紧即可。密封性能:KF 真空法兰的密封性能主要依赖于 O 形密封圈的密封效果,最高可达 10⁻⁷ mbar(高真空级别)。密封圈的压缩程度和材质质量直接影响着密封性能,其中氟橡胶 O 型圈烘烤温度上限为 150℃,丁腈橡胶 O 型圈烘烤温度不超过 80℃。
ISO 法兰
ISO 法兰适用于需频繁拆卸或管道外径大于 2 英寸的领域,可广泛应用于从大气到高真空的众多领域,使用 Viton O 型圈时可烘烤到 150℃,最高真空度可达 10⁻⁷ mbar,与 KF 法兰相当。ISO 法兰常用的两种形式是 ISO-K 和 ISO-F 两种,两者均覆盖 ISO63~ISO630 的尺寸范围:
· ISO-K(卡箍型):常用尺寸为 ISO63~ISO160,靠双卡爪夹紧,拆装相对便捷,适配中型腔体
· ISO-F(螺栓型):常用尺寸为 ISO160~ISO630,螺栓紧固,密封更稳定,适配大型腔体、泵组连接及高振动环境
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