氦质谱检漏仪

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氦质谱检漏仪的进展及其应用

氦质谱检漏仪的进展及其应用

1.氦质谱检漏仪的进展


经过近半个世纪的努力,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。


集中体现在如下几个方面:


(1)便携式:最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。


(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。


(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。


(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。


(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。


氦质谱检漏仪

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