氦质谱检漏仪

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技术文章

  • 检漏仪清氦

  • 真空镀膜装备检漏系统的设计与分析

  • 氦质谱检漏仪在EV继电器上的检漏应用

  • 用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

  • 氦质谱检漏用氦气的选择

  • 泄漏

  • 真空检漏的一些基本概念

  • 氦质谱检漏仪的历史

  • 允许泄漏率的计算

  • 影响漏率大小的因素

  • 泄漏简介

  • 大气组成及压力

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