一、引言

随着电子及半导体行业的飞速发展，对产品密封性能的要求日益提高。尤其是在高精密、高性能的电子元器件及封装过程中，任何微小的泄漏都可能对产品性能和可靠性产生严重影响。因此，如何高效、准确地检测产品密封性能成为行业发展的关键。

二、真空箱式氦检漏设备检漏及回收系统基本原理

真空箱式氦检漏设备是一种基于氦质谱技术的密封性检测设备。它利用氦气在常温下不与空气发生反应的特性，通过将被测物体放入真空箱内，抽取真空后充入氦气，形成密闭空间。当被测物体内部存在气体泄漏时，会导致密闭空间内的氦气浓度发生变化，从而实现对气体泄漏的检测和测试。

为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。

两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理，我们设计双工位氦检漏系统如图二。

此外，真空箱式氦检漏设备还具有以下性能特点：

(1)灵敏度高：真空箱式氦检漏设备能够检测到极微小的气体泄漏，具有很高的灵敏度。

(2)适用范围广：该设备适用于各种形状、大小及材质的电子元器件和封装结构的密封性检测。

(3)自动化程度高：设备配备人机交互界面，实现全自动压力监测、自动判断、声光提示等功能，减少人为干预，提高检测效率。

(4)可靠性高：系统采用高端配置，稳定可靠，自动检测故障，确保检测结果的准确性。

(5)环保节能：设备配备氦气回收系统，回收率高达98%以上，减少资源浪费，降低环境污染。

三、真空箱式氦检漏设备在电子及半导体行业的应用

半导体封装检测：在半导体封装过程中，需要对封装结构进行密封性检测。真空箱式氦检漏设备可以高效、准确地检测出封装结构中的微小泄漏，确保封装质量。

电子元器件检测：电子元器件的密封性能对其性能和可靠性具有重要影响。真空箱式氦检漏设备可用于检测各种电子元器件的密封性能，如电路板、传感器等。

精密连接器检测：在电子及半导体行业中，精密连接器广泛应用于各种设备和系统中。真空箱式氦检漏设备可用于检测连接器的密封性能，确保其连接可靠、无泄漏。

四、结论

真空箱式氦检漏设备在电子及半导体行业检测中具有重要应用价值。其高灵敏度、高可靠性、自动化程度高等特点使其成为行业发展的有力保障。随着电子及半导体行业的不断发展，真空箱式氦检漏设备将在更多领域得到广泛应用。

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