氦质谱检漏仪

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静态膨胀校准低真空计方法

静态膨胀校准低真空计方法

1910年克努曾最早提出静态膨胀法压力校准系统。静态膨胀校准低真空计时,因为容器壁吸、放气不显著,校准精度较高。在高真空校准时,由于器壁吸、放气显著,必须设法减小其影响。此方法制作简单、操作方便、运算迅速、检定效率高,且排除了汞蒸气对人的危害。

  膨胀法校准是基于波意耳定律,即在恒定的温度下,一定质量的气体的压力与体积之积为一常数。

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图1:单级膨胀系统工作示意图

  单级膨胀系统工作示意图见图1所示。首先将气源室中充有需要压力为p1的校准气体,由标准真空计G2测量。再将校准室抽气至低于校准压力下限两至三个数量级。这样可略去校准室本底压力对校准的影响。

  每操作一次传递阀K4,就将由气源室中的压力为p1容积为传递容积Vs的气体输送到校准室。第一次膨胀后,校准室压力见下面公式:

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  第n次膨胀之后,校准室的压力pn见式28。

  此法计算简单,如校准高真空可用双级膨胀


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