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真空系统中，除了在空间作无规则运动的气体分子之外，还有在器壁和内部元件等各种材料表面上附着的气体分子及材料内部溶解的气体分子。空间的气体分子在运动中与固体表面碰撞时，或是由表面弹性反射回来，或是附着在表面上一段时间，然后按余弦定律逸回空间。
2026-03-19
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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵启动快，能抗各种射线的照射，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。其结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高。该
2026-03-13
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放气气体从材料中自然地解吸现象称为放气。在真空中放气的主要来源是：1．熔炼和铸造过程中，空气中的氢、氧、氮和碳的氧化物会不同程度的熔于材料中。2．材料在大气环境中存放时，表面会吸附大量气体，主要是水蒸气、氧、氮和碳的氧化物等。3．材料表面的
2026-03-13
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气体沿管道的流动状态可分为四种：湍流、粘滞流、粘滞-分子流、分子流。湍流当气体的压力和流速较高时，气体流动是惯性力在起作用，气体流线不直，也不规则，而是处于旋涡状态，即旋涡时而出现，时而消失。管路中每一点气体的压力和流速随时间而变化。气体分
2026-03-03
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从对喷吹法检漏的分析中可以发现两个减小有效最小可检漏率的途径,其一是提高漏孔处氦浓度γHe,即使γHe→1;另一途径就是增加喷吹时间t。如果γHe=1,t=3τ（反应时间）,那么有效最小可检漏率就基本上接近仪器的最小可检漏率。
2026-02-02
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喷吹法检漏系统如下图所示。图中的辅助泵是用来对被检容器进行预抽并当被检容器存在大漏时用来维持检漏仪的工作压力的。检漏时,先用辅助泵将被检容器抽到低真空,然后再关闭辅助阀,打开检漏阀,将被检容器与事先已抽至极限真空的检漏仪的质谱室相通,并用质
2026-01-27
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标准漏孔的组成随着众多工业产品和生产过程对质量控制越来越严,公众的环境和安全意识越来越强,所以漏率的控制和量化变得越来越重要。标准漏孔是测量漏率大小的“尺子”,是漏率定量测量的关键量具。所谓“标准漏孔”,是人为制造的一种具有已知的恒定漏率的
2026-01-09
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气体沿管道的流动状态可分为四种：湍流、粘滞流、粘滞-分子流、分子流。湍流当气体的压力和流速较高时，气体流动是惯性力在起作用，气体流线不直，也不规则，而是处于旋涡状态，即旋涡时而出现，时而消失。管路中每一点气体的压力和流速随时间而变化。气体分
2026-01-09
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常见检漏方法及其适用场景气泡法（水检法）：是最原始的检漏方法。向工件充入高压气体后浸入水中，观察气泡产生情况。该方法成本低、操作简单。这种方法能直接定位漏点，但灵敏度较低，通常只能检测到较大漏孔，且结果易受人为观察影响，液体中的杂质也可能堵
2025-12-12
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在工业领域，凡不应流出或漏出的物质与流体，若逸出机械设备并造成损失，即称为泄漏。泄漏是一种普遍现象，几乎无处不在：自行车或汽车轮胎漏气会带来安全隐患；水龙头滴漏造成资源浪费；而化工厂中易燃、易爆或有毒气体的泄漏，则可能严重影响生产，甚至威胁
2025-11-24
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在传感器检测领域，氦质谱检漏仪地位关键。其重要性背后，既有科学原理支撑，也有实际应用需求。下面就来看看它为何在传感器检漏中不可或缺。极致精度：揪出微小泄漏传感器是技术中的“感知精灵”，对测量准确性要求极高。微小气体泄漏就像干扰因子，会严重影
2025-11-15
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在半导体行业，氦质谱检漏仪凭借其超高灵敏度（可达10⁻13Pa·m³/s）与定量检测能力，成为保障设备可靠运行、工艺稳定、产品良率、生产安全和环境合规性的关键检测工具，贯穿于半导体制造和封装的各个环节，堪称现代半导体工业不可
2025-11-15
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